2024 | OriginalPaper | Buchkapitel
Determination of Main Parameters of Air Floating Support System for Liquid Crystal Glass Substrate and Its Influence on Micro-Vibration of Glass Substrate
verfasst von : Xuejian Wang, Yunjie Ma, Zhi Xu, Bin Huang, Yongyue Yang
Erschienen in: Proceedings of 2023 the 6th International Conference on Mechanical Engineering and Applied Composite Materials
Verlag: Springer Nature Singapore
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